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电子束辐照处理低浓度VOC，具有效率高、能耗低、使用范围广、处理量大、操作简单等优点，是新近发展起来的比较有前途的处理低浓度VOC的方法之一。(3)进入微生物体内的VOC在其自身的代谢过程中作为能源和营养物质被分解，经生物化学反应最终转化成为无害的化合物。这种方法的缺点主要有：对于芳香烃类VOC，例如某些多环芳烃等，处理效果还不是很理想，要达到较高的脱除率需要很高的剂量以及产物中可能仍含有毒有害有机物等。

光分解VOC主要有2种形式：一种是直接光照，在波长合适时，VOC分解；另一种是催化剂存在下，光照气态VOC使之分解。生物过滤法是微生物附着生长于固体介质(填料)表面，VOC通过由固体介质构成的固定塔层(填料层)时，被吸附、吸收，最终被微生物降解。常用的金属氧化物光催化剂有：Fe203、W03、Cr203、ZnO、ZrO、Ti02等。由于Ti02的化学性质稳定、催化活性高且无毒价廉、货源充足，成为目前试验研究中常用的光催化剂之一。

微生物净化法处理VOC一般要经历3个步骤：

(1)VOC同水接触并溶解于水中(即由气膜扩散进入液膜)；

(2)溶解于液膜中的VOC在浓度差的推动下进一步扩散到生物膜，进而被其中的微生物捕获并吸收；

(3)进入微生物体内的VOC在其自身的代谢过程中作为能源和营养物质被分解，经生物化学反应最终转化成为无害的化合物。

根据微生物在VOC处理过程中存在的形式，可将处理方法分为生物洗涤法(悬浮态)和生物过滤法(固着态)。其原理是利用具有密集的细孔结构、内表面积比较大的粒状活性炭、炭纤维、硅胶、人工沸石等吸附剂的多孔结构，将VOC组分吸附在固体表面，利用吸附剂不断吸附、脱附的循环，达到净化回收目的。生物洗涤法即微生物及其营养物配料存在于液相中，气相中的有机物通过与悬浮液接触后转移到液相，从而被微生物降解，其典型形式有鼓泡塔、喷淋塔及穿孔塔等生物洗涤塔。生物过滤法是微生物附着生长于固体介质(填料)表面，VOC通过由固体介质构成的固定塔层(填料层)时，被吸附、吸收，最终被微生物降解。其典型的形式有土壤、堆肥、填料等材料构成的生物过滤塔。生物滴滤塔则同时有悬浮态和固着态的特性。